713 搞出光刻机挺直腰杆子(4k)(4 / 7)
“不是我急,陆总,一旦EUV预生产成功的话,英特尔、三星、台积电也许不出三五年,就能得到EUV光刻机的生产线……”
尹志尧话里无不透着焦虑。
“尹教授,这台EUV,ASML、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来?”陆飞透过面罩的玻璃,直直看去。
“从林本坚提出浸润式微影技术的理论,到现在,大概十三、十四年。”
梁孟松站出来回答。
“对嘛,这不就结了。”
陆飞拍了拍尹志尧的肩膀,“EUV集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才,也要花13年的时间,何况是我们呢!”
“陆总说的没毛病!”
孙红军机敏地当捧哏。
“咱们研究起步晚,技术经验积累少,人才还不够不精,再加上特么的技术封锁,能在这么短的时间,攻克65nArF干式光刻机,就已经很不正常了,再快就该拍科幻片了。”
陆飞笑道:“落后不可怕,可怕的是不追赶,你看我们现在,已经步入正轨了。”
“可不是嘛,快赶上小霓虹了!”
孙红军嘿然一笑。
就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能,在光刻机路线上,不去梭哈湿刻法,而是全力押注干刻法,却失败了,白白耗费人力财力时间。
今后,逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低端光刻机市场,先干翻了小霓虹!
“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,ArFi会有的,EUV也会有的!”
陆飞环顾四周,激励士气。
“陆总!”
尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作ArFi光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究EUV光刻机。
而且满世界找帮手,比如徕卡。
“老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”
陆飞侧目望向孙红军。