839 最后的战役（二）（2 / 6）

领导们来回分析，议论纷纷。

陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”

陆飞笑道：“DUV浸润式光刻机能成功，完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们，是他们的血汗和信念，才有了今天的光刻机，当然也离不开领导们的支持，地方上的政策，还有相关公司、院校、国企单位的合作。”

“生产7nm的良品率是多少？”

顿了顿，“可以说，这台DUV浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心，也代表着目前国内光刻机的最高水平，距离国际一线的EUV光刻机，只有一代的代差了。”

郑韩脸上挂着得意的笑容。

沙领导眼里满是赞赏之色。

陆飞露出个看似轻松的笑容。

郑韩好奇道。

众人两两相望，相视一笑。

郑韩皱了皱眉。

然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了DUV浸润式的物镜系统，至于EUV的，恐怕需要很长一段时间。”

“理论上是这样，但事实是现在全球智能机领域已经有‘性能过剩’的趋势，搭载5nm芯片的手机体验，未必就不如3nm，就会让3nm及以下工艺陷入一种尴尬的地步，飙升的成本却只得到微弱的性能提升。”

一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”

“哪里，哪里，领导。”

“比如呢？”

“5nm是不是就需要EUV光刻机了？”

陆飞笑道：“虽然5nm是目前我们的极限，理论上而言，台积电、英特尔、三星这些有EUV光刻机的，制程工艺甚至可以冲击到1nm，但得到的回报并不会太高。”

沙领导问道：“现在逻辑和华为的手机用的都是7nm制程工艺的芯片对吗？”

“不同的芯片不同的良率，但基本能稳定在70%，慢慢调试改进，可以达到80%。”