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第一百三十九章:晶圆切割裂纹异常(3 / 3)

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金刚石颗粒直径?这问题好专业啊!辛佟没有干过减薄,他是怎么知道的?罗高工无比惊讶,难道辛佟是一个工艺天才?

姜华也非常震惊,老同学跟天王级别的高手讨论起工艺问题,竟然一点儿也不落下风啊。

“目前我们减薄分两次研磨,粗磨使用325#的磨轮,精磨使用9#的磨轮,换算下来,粗磨的金刚砂颗粒直径为44μm,精磨的金刚砂颗粒直径为15μm。”谢工对自己管控工序的工艺了如指掌。

辛佟“喔”了一下,手指在手机上一阵翻飞,将信息发给了张凯峻。

“辛经理问得对,我也觉得减薄的问题可能跟磨轮的选择有关!”经过辛佟的点拨,罗高工好像得到了某种启示一般。

“我也这样怀疑!”谢剑风说道。

“粗磨选用325#的磨轮,没有错,不过粗磨过后形成的损伤层大约为2μm左右,粗糙度约为15μm,精磨使用9#的磨轮,其损伤层大约为5μm左右,粗糙度约为5μm,这样的高低不平纹路,会造成应力集中,使后续工艺划片产生裂纹,我建议精磨采用25#磨轮试试,假片做完之后测量一下翘曲度,如果翘曲度小于2μm,你们安排切割验证。”辛佟非常自信地说道。

这个辛佟真是太逆天了,对减薄工序的了解绝对在谢剑风之上啊,罗高工听了直点头,说道:“很好!”

“好的,辛经理,我们按照你的要求再做一些假片验证!”谢剑风点了点头。

他之前跟辛佟没有交集,不过听说过这个人,总觉得辛佟升职太快了,真没有想到他竟然如此专业,今日一见,佩服得五体投地。

看着工程部老大和s天王对辛佟的分析连连点头,姜华也惊呆了,这么说老同学的本领已经超过这些顶级高手了?

关键是他都没有在晶圆减薄工序呆过一天啊!

昨天去减薄看了一眼,他就无师自通了?

从会议室里出来,姜华拉住了辛佟,忍不住问道:“老同学,你不是干键合出身的吗?怎么对减薄也这么精通?”

辛佟笑了笑,要不是刚才咨询张凯峻,他也一头雾水。

不过,他不想将这件事告诉姜华,就随便忽悠道:“键合工序是王者工序,你干了键合再看其他工序,都很lo了。”

不是说隔行如隔山吗?

老实说他姜华统管fol所有生产工序,也看过减薄、切割、装片和键合,发现不同的工序之间差异其实还挺大的。

“是吗?”姜华心中是将信将疑。

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