350.第330章 320：光刻机进入最后测试环节（2 / 5）

韩琛和一众研究员正站在一台长三米宽两米高两米的一台机器前，因为没有安装外壳的线路内部零件全部裸露在空气上，这台机器正是韩琛一直在研究的x射线光刻机。

此刻工作人员正在为x射线光刻机安装电源和变压器。

“韩总，电源安装好了。”负责安装电源和变压器的研究员刘国荣说道。

“很好，启动电源。”韩琛说道。

说完韩琛和一行人走到一旁的控制台前，随着电源启动控制台上出现画面，很快控制台就进入操作界面，光刻机的操作界面也是十分简单，只要稍加培训就知道该如何操作了。

韩琛操作鼠标按下操作界面上的按钮让光刻机进入真空装填。

随着机器运转光刻机舱内的空气被真空泵抽走，另一侧的管道将氮气注入到真空舱当中。

“冯贤亮，将晶圆放入舱体。”韩琛说道。

“好的，韩总。”站在韩琛身后的冯贤亮说道。

随后冯贤亮推着一辆板车往光刻机方向走去，没一会他来到光刻机的右侧进料口，进料口在韩琛操作下弹了出来，冯贤亮将晶圆片放入进料口当中。

“韩总，晶圆已经送进舱体了。”冯贤亮说道。

“好的。”韩琛回道。

随后韩琛将芯片图纸导入到系统当中并按下了光刻机的启动键。

虽然光刻机的舱体是密封真空的，但是舱体里面安装有摄像头，可以通过摄像头观看舱体内的情况，激光头按照预设好的程序将x射线打在晶圆上。

随着机器运转现在的工作人员精神变得紧绷起来，只是他们现在再着急也没有用，因为x射线光刻机处理的速度非常缓慢。

因为这种x射线光刻机处理一片8寸晶圆需要5分钟的时间，也就是说一台x射线光刻机一个小时最多处理12片晶圆。

相对比amsl、佳能、尼康的dvu光刻机那是一个天差地别，这些厂家所研发的duv光刻机每小时可以处理100片晶圆，效率是x射线光刻机的9倍多。

别看韩琛研发的x射线光刻机效率慢，它比现有的duv光刻机强悍多了。

一台x光射线光刻机成本只要58万软妹币，除此以外x光射线光刻机功耗比duv低，它制作一片晶圆功耗只有duv的58%，最重要的是它不需要制作掩膜。